產品資料
美國 Exicor HD 系列雙折射測量光學儀器
產品名稱: 美國 Exicor HD 系列雙折射測量光學儀器
產品型號: Exicor® HD 系列
產品特點: 美國 Exicor HD 系列雙折射測量光學儀器，是專為重型大尺寸樣品打造的高精度雙折射檢測設備。基于核心的低級別雙折射測量技術與 PEM 光彈性調制器，實現亞納米級測量精度，全鋼底座結構支持最高 5.4 噸、2 米見方的超大樣品，廣泛應用于半導體晶圓、光掩膜、大型光學元件的雙折射與應力檢測。
美國 Exicor HD 系列雙折射測量光學儀器 的詳細介紹
美國 Exicor HD 系列雙折射測量光學儀器
美國 Exicor HD 系列雙折射測量光學儀器
核心技術與性能優勢
Exicor® HD 系列基于 Hinds Instruments 的 PEM（光彈性調制器）雙折射測量技術，突破傳統設備的測量局限，實現 0.005 nm 級的超高精度雙折射檢測。全鋼底座的重型設計，解決大尺寸、大重量樣品的測量穩定性問題，確保從 400mm 到 2000mm 全規格樣品的測量精準性。
半導體行業專屬應用
設備專為半導體行業打造，適配半導體晶圓、光掩膜的雙折射與應力檢測，自動化掃描軟件可快速完成常規評估，為半導體制造工藝優化提供精準數據支撐。同時支持定制化波長、高分辨探頭，滿足不同工藝環節的檢測需求。
全場景檢測能力
除半導體行業外，設備還廣泛應用于光學元件、玻璃、聚合物等材料的雙折射與應力分布檢測，覆蓋從科研實驗室到量產生產線的全場景需求。靈活的加載方式與多規格型號，可根據客戶樣品尺寸、重量定制化選型。
操作與維護
設備搭載直觀的自動化掃描軟件，操作簡單，無需專業培訓即可上手；全鋼結構耐用性強，維護成本低，僅需定期校準即可保持長期穩定的測量性能，適配工業化連續檢測需求。
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