HINDS Exicor 光學雙折射檢測設備

HINDS Exicor 光學雙折射檢測設備

是美國亨德斯儀器推出的光學檢測設備，專為半導體光刻、光學材料制造、材料應力分析等領域設計，為全尺寸、全波段光學元件的雙折射檢測提供高精度、高穩定性的專業解決方案。

全系列產品覆蓋多場景檢測需求：Exicor 50/1S 為緊湊型臺式系統，適配實驗室小型樣品檢測；Exicor 400 為大臺面系統，支持最大 400mm×400mm 大尺寸光學元件檢測；Exicor DUV/193 DUV 為深紫外專用系統，聚焦 157nm、193nm、248nm 光刻波段，適配浸沒式 193nm 光刻等工藝，可精準評估氟化鈣（CaF?）透鏡、光刻掩模等光學元件的本征雙折射。

所有系統均采用 PEMLabs™彈性調制器與 Signaloc™鎖相放大器核心技術，延遲分辨率達 0.01nm，重復性 ±0.08nm，角分辨率 0.01°，重復性 ±0.5°，實現行業的測量精度。系統支持雙軸晶格的 2D/3D 圖形可視化，內置高級數據分析功能，直觀呈現光學元件的雙折射與應力分布，同時支持全自動無人值守掃描，可連續運行多個班次，大幅提升檢測效率。