產品資料
美國 HINDS Exicor AT 雙折射測量系統光學
產品名稱: 美國 HINDS Exicor AT 雙折射測量系統光學
產品型號: Exicor® AT
產品特點: 美國 HINDS Exicor AT 雙折射測量系統光學是針對半導體晶圓、光掩模等精密光學元件設計的臺式檢測設備，可同時測量雙折射大小與角度，搭載高速掃描技術，實現高空間分辨率檢測，適配半導體制造的質量管控需求。
美國 HINDS Exicor AT 雙折射測量系統光學 的詳細介紹
美國 HINDS Exicor AT 雙折射測量系統光學
美國 HINDS Exicor AT 雙折射測量系統光學
是專為半導體、精密光學行業打造的臺式檢測設備，核心用于半導體晶圓檢查與光掩模質量評估，可完成雙折射的高精度檢測與分析。
系統搭載標準高速掃描包 Scan in Motion™（SIM），實現高空間分辨率掃描，網格間距可小于 1 毫米，同時具備優異的低級別雙折射測量靈敏度，可同時測量雙折射大小與角度，保障檢測精度與重復性，支持高速測量與自動映射，大幅提升檢測效率。
設備采用無移動光學部件設計，測量過程中無需反復調整階段、材料等變量，有效提升檢測準確性；配套簡單易用的軟件，可直觀指導操作，優化測試、數據收集與信息分析流程。
系列覆蓋多型號適配不同場景：120AT/150AT/250AT 為臺式設計，配備自動 XY 工作臺，靈活的舞臺設計可添加自定義零件支架或工藝輔助工具；300AT/500AT 搭載重型自動化 XY 工作臺，采用三面便捷上臺加載設計，適配大尺寸樣品檢測，同樣支持定制化配件擴展。所有型號均內置高級數據分析功能，支持雙軸晶格的 2D 和 3D 圖形可視化，直觀呈現檢測結果。
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