日本 FLOVEL  電動雙面顯微鏡系統

日本 FLOVEL  電動雙面顯微鏡系統

日本 FLOVEL TOMOS-60XY 是專為半導體自動化檢測打造的 6 英寸電動載物臺雙面顯微鏡系統。產品搭載正立 + 倒立雙 320 萬像素相機，配備 150mm×150mm 電動 XY 載物臺與自動對焦功能，可預先指定測量點位，自動完成水晶振子、MEMS、半導體晶圓等工件的雙面圖案、對齊標記偏移與尺寸測量，替代人工操作，實現無人化批量檢測。

系統內置智能測量算法，可自動識別圓、方、十字等對齊標記的邊緣，精準計算中心坐標與位置偏差；支持光軸、倍率、相機角度多重補償，以及 XY 軸偏差校正、中心定位功能，消除工件安裝與載物臺移動誤差，保障測量精度。Z 軸最大 30mm 行程，適配不同高度工件，自動對焦功能確保成像清晰。

設備支持落射、透射、混合照明，滿足不同材質工件的成像需求；軟件界面直觀，可實現雙面圖像疊加顯示、測量結果自動輸出、地圖制作、配方登記等功能，支持連續移動測量，大幅提升檢測效率。同時提供軟件、樣品夾持器定制服務，可根據工件形狀、材料定制專屬檢測方案，適配特殊工件的自動化檢測。