日本 FLOVEL  電動雙面顯微鏡系統

日本 FLOVEL  電動雙面顯微鏡系統

日本 FLOVEL TOMOS-80XY 是專為大尺寸半導體、精密零件打造的電動 XY 平臺雙面顯微鏡系統。產品搭載正立 + 倒立雙 320 萬像素相機，配備 200mm×200mm 大行程電動 XY 平臺與自動對焦功能，可預先指定測量點位，自動完成 8 英寸及以上晶圓、MEMS、電子元件等工件的雙面圖案、對齊標記偏移與尺寸測量，替代人工操作，實現無人化批量檢測。

系統內置智能測量算法，可自動識別各類對齊標記的邊緣，精準計算中心坐標與位置偏差；支持多重精度補償，消除工件安裝與平臺移動誤差，保障測量結果的可靠性。Z 軸 ±10mm 行程，適配不同高度工件，自動對焦功能確保成像清晰；雙白色 LED 照明支持落射、透射、混合模式，滿足不同材質工件的成像需求。

設備支持雙面圖像疊加顯示、測量結果自動輸出、地圖制作、配方登記等功能，可選配無需翻轉工件的線寬測量功能，大幅提升檢測效率；同時提供軟件、樣品夾持器定制服務，可根據工件形狀、材料定制專屬檢測方案，適配特殊工件的自動化檢測。