日本 FLOVEL 雙面測量顯微鏡系統

Name: 日本 FLOVEL 雙面測量顯微鏡系統TOMOS-60
Brand: 其他品牌
Price: 11111 CNY
Availability: InStock

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產品名稱: 日本 FLOVEL 雙面測量顯微鏡系統

產品型號: TOMOS-60

產品特點: 日本 FLOVEL 雙面測量顯微鏡系統，日本 FLOVEL TOMOS-60 是搭載 6 英寸 XY 載物臺的雙面位置偏移測量顯微鏡系統，采用雙 CMOS 相機同步拍攝，150mm×150mm 大行程，±0.3μm 超高精度，可一次完成晶圓、MEMS 等半導體器件的雙面位置偏移、尺寸測量，是半導體制造領域的核心檢測設備。

日本 FLOVEL 雙面測量顯微鏡系統 的詳細介紹

日本 FLOVEL 雙面測量顯微鏡系統

日本 FLOVEL TOMOS-60 是專為半導體、大尺寸精密零件打造的 6 英寸載物臺雙面位置偏移測量顯微鏡系統。產品搭載正立 + 倒立雙 1/1.8 型 CMOS 相機，300 萬像素成像，配備 150mm×150mm 大行程 XY 載物臺，可覆蓋 6 英寸晶圓、大尺寸基板的全范圍檢測，一次操作完成工件正反兩面的位置偏移、尺寸測量，大幅提升檢測效率。

系統實現 ±0.3μm 以下的重復測量精度，通過軟件自動校正正反光軸，消除人工操作誤差，保障測量結果的可靠性；支持 5/10/20/50 倍多倍率物鏡切換，提供落射、透射、混合照明模式，滿足半導體晶圓、MEMS 等不同材質、結構工件的清晰成像需求。

設備內置豐富測量功能，支持手動 / 自動尺寸測量、位置偏移檢測、邊緣自動提取、雙面圖像合成顯示，直觀的軟件界面操作便捷，自動測量功能可消除人為誤差，適合批量晶圓檢測。機身采用模組化設計，可獨立使用，也可嵌入自動化產線，同時可選配自動對焦單元、電動 XY 載物臺，實現全流程自動化檢測。

TOMOS-60 廣泛應用于半導體晶圓、MEMS、水晶振子等精密元器件的雙面位置偏移、尺寸檢測，同時可用于大尺寸基板、電子紙等的雙面同步觀察，是半導體制造、精密加工領域質量管控的核心檢測設備，幫助企業提升檢測精度與生產效率。

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