半導體液晶制造裝置帶真空排氣加熱器

半導體液晶制造裝置帶真空排氣加熱器

半導體?液晶制造裝置的排氣管道因大量粉末的存在而時刻面臨污染和堵塞的風險。
HOTN2加熱器利用現有的稀釋用N2氣體，以低成本防止和消除這些問題。
HOT N2加熱器可用于縮短低溫泵的再生時間，以及清除負載鎖定室中的污垢。半導體?液晶制造裝置的排氣管道因大量粉末的存在而時刻面臨污染和堵塞的風險。
HOTN2加熱器利用現有的稀釋用N2氣體，以低成本防止和消除這些問題。
HOT N2加熱器可用于縮短低溫泵的再生時間，以及清除負載鎖定室中的污垢。

從外側對排氣配管進行保溫以抑制粉末附著的技術是以往的，但由于這僅對配管內壁進行保溫，形狀變得復雜時，保溫不充分的部位
粉末附著了?我會成長。
另一方面，HOTN2加熱器使配管內的整體升溫，因此無論配管的形狀如何，都能抑制粉末的析出，防止配管內的堵塞。從外側對排氣配管進行保溫以抑制粉末附著的技術是以往的，但由于這僅對配管內壁進行保溫，形狀變得復雜時，保溫不充分的部位
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另一方面，HOTN2加熱器使配管內的整體升溫，因此無論配管的形狀如何，都能抑制粉末的析出，防止配管內的堵塞。