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產(chǎn)品資料
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半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器

產(chǎn)品名稱: 半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
產(chǎn)品型號: S/M/L系列
產(chǎn)品特點: 半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導體?FPD 產(chǎn)線高純氣體設計的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實現(xiàn)高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應，廣泛應用于光刻機溫控、CVD/ALD 前驅(qū)劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。
? 核心賣點
交換式（Ca

半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器 的詳細介紹

半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器

半導體用高純氣體在線交換式氣體加熱器

日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導體?FPD 產(chǎn)線高純氣體設計的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實現(xiàn)高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應，廣泛應用于光刻機溫控、CVD/ALD 前驅(qū)劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。

? 核心賣點

  • 交換式（Cartridge）結(jié)構(gòu)：30 秒完成加熱芯更換，無需停氣、無需工具
  • 高純對應：全 316L EP 管 + VCR 接頭，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
  • 高溫高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
  • Hot-Swap：雙腔體旁路設計，在線切換加熱芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
  • 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆蓋
  • 認證：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 壓力容器豁免

?? 系列規(guī)格速覽

表格
復制
系列流量范圍最高出口溫度加熱功率接管口徑全長重量
S3 – 20 L/min200 °C0.5 kW?" VCR235 mm2.8 kg
M20 – 80 L/min200 °C1.5 kW?" VCR315 mm5.5 kg
L80 – 200 L/min200 °C3.0 kW?" VCR410 mm9.2 kg
日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導體?FPD 產(chǎn)線高純氣體設計的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實現(xiàn)高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應，廣泛應用于光刻機溫控、CVD/ALD 前驅(qū)劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。

? 核心賣點

  • 交換式（Cartridge）結(jié)構(gòu)：30 秒完成加熱芯更換，無需停氣、無需工具
  • 高純對應：全 316L EP 管 + VCR 接頭，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
  • 高溫高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
  • Hot-Swap：雙腔體旁路設計，在線切換加熱芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
  • 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆蓋
  • 認證：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 壓力容器豁免

?? 系列規(guī)格速覽

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復制
系列流量范圍最高出口溫度加熱功率接管口徑全長重量
S3 – 20 L/min200 °C0.5 kW?" VCR235 mm2.8 kg
M20 – 80 L/min200 °C1.5 kW?" VCR315 mm5.5 kg
L80 – 200 L/min200 °C3.0 kW?" VCR410 mm9.2 kg



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