桌面型高純半導體氣體測量酸素分析計

桌面型高純半導體氣體測量酸素分析計

高純半導體氣體測量專用 · 腔衰蕩光譜（CRDS）· 真空 ≤ 1×10?? Pa
0.01 – 100 ppm O? · ±0.01 ppm · 0.1 s 響應 · 5 年壽命 · 即插即用

一、產品定位

• 高純半導體氣體測量：H?、N?、Ar、He、NH?、有機溶劑蒸氣中的 O? 殘量
• 桌面型 CRDS：腔衰蕩光譜，真空 ≤ 1×10?? Pa，Class 100 兼容
• 酸素（氧氣）分析：0.01 – 100 ppm，±0.01 ppm，0.1 s 響應
• 桌面型：底面積 A4，2.1 kg，即插即用，5 年壽命

二、核心技術參數（CRDS 型）

三、功能亮點

1. 0.01 – 100 ppm 全范圍：CRDS 腔衰蕩，全范圍精度 ±0.01 ppm
2. ±0.01 ppm 超高精度：0.001 ppm 分辨率，O? 殘量微變實時捕捉
3. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
4. 0.1 s 高速響應：0.1 s 高速響應，適合快速 O? 變化
5. 2.1 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動，通風櫥內即用
6. 5 年壽命：CRDS 腔 + 激光器，5 年免維護

四、典型應用系統

半導體高純氣體 O? 分析┌─ 高純氣體管道 ─┐│                   │O?← CRDS ← 真空饋通 NW16│                   │└─ PLC/DCS ──────┘

• 高純 N? 中 O? 0.1 ppm，0.1 s 響應，±0.01 ppm 精度
• RS-485 實時輸出，PLC 閉環控制

五、實測數據（半導體驗證）

• 氣體：高純 N?，O? 0.1 ppm，25 ℃
• CRDS 型：