簡(jiǎn)易型高純度半導(dǎo)體氣體測(cè)量用微量分析計(jì)

簡(jiǎn)易型高純度半導(dǎo)體氣體測(cè)量用微量分析計(jì)

1. 技術(shù)路線
   采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術(shù)，通過(guò)測(cè)量激光在高品質(zhì)諧振腔內(nèi)的指數(shù)衰蕩時(shí)間，直接換算出 ppm/ppb 級(jí)痕量氣體濃度，無(wú)需化學(xué)試劑或耗材 。
2. 代表機(jī)型
• 在 SPARK 基礎(chǔ)上擴(kuò)展了 NH? 等更多雜質(zhì)通道，同樣免維護(hù)
• 主要面向超高純氣體與半導(dǎo)體工藝
• 免校準(zhǔn)、免耗材，生命周期成本低
• 小流量即可高響應(yīng)，可測(cè) H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質(zhì)
• 適用于高純氣體、半導(dǎo)體特氣、低溫分離裝置等場(chǎng)景
• SPARK 系列
• HALO KA Max 系列
3. 性能亮點(diǎn)
• 檢測(cè)下限：常見雜質(zhì) 1 ppb–100 ppt 級(jí)
• 免校準(zhǔn)、長(zhǎng)期零漂移，適合無(wú)人值守在線運(yùn)行
• 接氣部分為 SUS 等耐腐材質(zhì)，可測(cè)腐蝕性氣體；傳感器與激光/探測(cè)器非接觸，長(zhǎng)期穩(wěn)定性高

1. 技術(shù)路線
   采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術(shù)，通過(guò)測(cè)量激光在高品質(zhì)諧振腔內(nèi)的指數(shù)衰蕩時(shí)間，直接換算出 ppm/ppb 級(jí)痕量氣體濃度，無(wú)需化學(xué)試劑或耗材 。
2. 代表機(jī)型
• 在 SPARK 基礎(chǔ)上擴(kuò)展了 NH? 等更多雜質(zhì)通道，同樣免維護(hù)
• 主要面向超高純氣體與半導(dǎo)體工藝
• 免校準(zhǔn)、免耗材，生命周期成本低
• 小流量即可高響應(yīng)，可測(cè) H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質(zhì)
• 適用于高純氣體、半導(dǎo)體特氣、低溫分離裝置等場(chǎng)景
• SPARK 系列
• HALO KA Max 系列
3. 性能亮點(diǎn)
• 檢測(cè)下限：常見雜質(zhì) 1 ppb–100 ppt 級(jí)
• 免校準(zhǔn)、長(zhǎng)期零漂移，適合無(wú)人值守在線運(yùn)行
• 接氣部分為 SUS 等耐腐材質(zhì)，可測(cè)腐蝕性氣體；傳感器與激光/探測(cè)器非接觸，長(zhǎng)期穩(wěn)定性高

1. 典型應(yīng)用
• 半導(dǎo)體廠高純 N?、H?、Ar、He 中 H?O、CO、CO?、CH?、NH? 的 ppb 級(jí)監(jiān)控
• 空分、低溫分離裝置產(chǎn)品質(zhì)量保證
• 鋼瓶充裝、槽車運(yùn)輸過(guò)程抽檢
2. 使用與維護(hù)
• 開機(jī)即用，無(wú)需量程切換、漂移校正或耗材更換
• 結(jié)構(gòu)緊湊，可臺(tái)式、19″機(jī)架或便攜式安裝；支持模擬/數(shù)字輸出，方便接入 DCS