產(chǎn)品采用柔性纖維條式結(jié)構(gòu)，核心毛材可選不銹鋼絲、PEEK 或陶瓷材質(zhì)，通過特殊工藝固定在圓盤基座上，形成均勻分布的修整單元。在 CMP 工藝中，修整器可對(duì)硬質(zhì)發(fā)泡聚氨酯拋光墊進(jìn)行均勻修整，去除墊面因拋光過程中產(chǎn)生的漿料殘留、拋光副產(chǎn)物及堵塞物，恢復(fù)拋光墊的孔隙率與研磨性能，確保拋光墊表面狀態(tài)穩(wěn)定，從而保證 CMP 工藝的平坦化效果與晶圓表面均勻性。

修整器的柔性纖維條可通過自身微小的自激振動(dòng)，實(shí)現(xiàn)更細(xì)膩的修整效果，相比傳統(tǒng)帶電金剛石磨料的金剛石條修整器，其在硬質(zhì)發(fā)泡聚氨酯墊上的去整表面效果更高，且可實(shí)現(xiàn)金屬污染 - free，避免金屬雜質(zhì)引入半導(dǎo)體工藝，滿足晶圓制造的高潔凈度要求。產(chǎn)品適配不同規(guī)格的拋光墊與 CMP 設(shè)備，圓盤基座設(shè)計(jì)可直接安裝于設(shè)備修整機(jī)構(gòu)，安裝便捷，修整過程穩(wěn)定，可顯著延長拋光墊的使用壽命，降低工藝成本，同時(shí)提升晶圓平坦化工藝的良率與一致性。