是日本若井田科學(xué)推出的寬范圍真空測量設(shè)備,專為真空鍍膜、半導(dǎo)體工藝、實驗室真空實驗裝置、質(zhì)譜儀、表面處理設(shè)備等場景設(shè)計,為真空度從寬范圍真空段的精準(zhǔn)、穩(wěn)定、全量程監(jiān)測提供專業(yè)解決方案。
設(shè)備采用獨特的復(fù)合式測量原理,集成皮拉尼真空計(PIRANI)和電離真空計(ION)兩大核心單元。其中 WVG-1T 型號覆蓋 20~2×10?? Pa 的測量范圍;WVG-3T 型號擴展至 200~2×10?? Pa,兩者均支持分段切換,通過面板旋鈕即可完成量程切換,操作便捷,無需復(fù)雜調(diào)試即可適配不同真空工況。
作為寬量程真空計,WVG-1T/WVG-3T 系列提供豐富的外部接口,包括各量程滿刻度 10mV 的記錄輸出端子(REC OUT),可直接連接外部記錄儀、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)或自動化控制柜,實現(xiàn)真空壓力數(shù)據(jù)的實時采集、遠程監(jiān)控及生產(chǎn)線聯(lián)動控制。設(shè)備采用 SUS 制造的專用測量球,WVG-1T 搭配 VG-51 球,WVG-3T 搭配特殊皮拉尼球,確保在高真空環(huán)境下的測量精度與使用壽命。
整機采用堅固工業(yè)級金屬外殼,尺寸為 443×120×330mm,重量 10kg,結(jié)構(gòu)穩(wěn)固耐用,散熱性能優(yōu)異。設(shè)備采用 AC100V 供電,功耗 53W,長期運行穩(wěn)定可靠,維護成本低,可在實驗室、工廠生產(chǎn)線、半導(dǎo)體制造車間等多種環(huán)境中穩(wěn)定工作。
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