高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計

高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計

半導體制造應用 · 臺式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

一、產品定位

• 半導體制造應用：離子注入、MOCVD、磁控濺射、磁夾具、晶圓搬運
• 臺式高斯計/特斯拉計：非接觸磁場測量，0.1 mG – 35 T，臺式 2.1 kg
• F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采樣，5 年壽命

半導體制造應用 · 臺式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

一、產品定位

• 半導體制造應用：離子注入、MOCVD、磁控濺射、磁夾具、晶圓搬運
• 臺式高斯計/特斯拉計：非接觸磁場測量，0.1 mG – 35 T，臺式 2.1 kg
• F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采樣，5 年壽命

二、核心技術參數（F71）

三、功能亮點

1. 0.1 mG – 35 T 全范圍：從地球磁場到 35 T 全范圍，半導體磁場全覆蓋
2. 0.01 % 超高精度：0.01 % RDG，磁場重復性 ≤ 0.01 mG
3. 1 MHz 高速采樣：1 MHz 實時采樣，適合快速磁場變化
4. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
5. 2.1 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動，實驗室即用