產(chǎn)品資料
非接觸半導(dǎo)體裝置用離子體反應(yīng)溫度測(cè)量計(jì)
產(chǎn)品名稱: 非接觸半導(dǎo)體裝置用離子體反應(yīng)溫度測(cè)量計(jì)
產(chǎn)品型號(hào): Photrix
產(chǎn)品特點(diǎn): 非接觸半導(dǎo)體裝置用離子體反應(yīng)溫度測(cè)量計(jì)等離子體反應(yīng)溫度 · 非接觸 · 真空 ≤1×10?? Pa · 0.01 °C 分辨率450-2000 °C · ±0.5 % · 5 ms 響應(yīng) · 重量 1.9 k
非接觸半導(dǎo)體裝置用離子體反應(yīng)溫度測(cè)量計(jì) 的詳細(xì)介紹
非接觸半導(dǎo)體裝置用離子體反應(yīng)溫度測(cè)量計(jì)
非接觸半導(dǎo)體裝置用離子體反應(yīng)溫度測(cè)量計(jì)
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體裝置專用：等離子體刻蝕、CVD、離子注入、ALD
- 等離子體反應(yīng)溫度：非接觸，真空 ≤1×10?? Pa，450-2000 °C
- Photrix：非接觸等離子體溫度，0.01 °C 分辨率，5 ms 響應(yīng)
二、核心技術(shù)參數(shù)（Photrix）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 原理 | 非接觸等離子體溫度（Photrix 原理） |
| 溫度范圍 | 450 – 2000 °C（全范圍） |
| 分辨率 | 0.01 °C（0.01 °C 分辨率） |
| 精度 | ±0.5 %（450-2000 °C） |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 5 ms（非接觸） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 大氣版 | 可選（內(nèi)置窗） |
| 真空接口 | NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 壽命 | 5 年（傳感器） |
三、功能亮點(diǎn)
- 450-2000 °C 全范圍：非接觸等離子體溫度，全范圍精度 ±0.5 %
- 0.01 °C 超高分辨率：0.01 °C 分辨率，等離子體溫度微變實(shí)時(shí)捕捉
- 5 ms 高速響應(yīng)：非接觸，5 ms 高速響應(yīng)，適合快速溫度變化
- ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無(wú)泄漏
- 1.9 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動(dòng)，實(shí)驗(yàn)室即用
- 5 年壽命：Photrix 傳感器，5 年免維護(hù)
四、典型應(yīng)用系統(tǒng)
半導(dǎo)體等離子體刻蝕┌─ 等離子體腔體 ─┐│ │溫度← Photrix ← 真空饋通 NW16│ │└─ PLC/DCS ──────┘- 等離子體溫度 1000 °C，0.01 °C 分辨率，5 ms 響應(yīng)
- RS-485 實(shí)時(shí)輸出，PLC 閉環(huán)控制
五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)（等離子體驗(yàn)證）
- 等離子體：Ar/O?，1000 °C，1×10?? Pa
- Photrix：
- 溫度 1000 °C（±0.5 %）
- 分辨率 0.01 °C（0.01 °C）
- 響應(yīng)時(shí)間 5 ms（非接觸）
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體裝置專用：等離子體刻蝕、CVD、離子注入、ALD
- 等離子體反應(yīng)溫度：非接觸，真空 ≤1×10?? Pa，450-2000 °C
- Photrix：非接觸等離子體溫度，0.01 °C 分辨率，5 ms 響應(yīng)
二、核心技術(shù)參數(shù)（Photrix）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 原理 | 非接觸等離子體溫度（Photrix 原理） |
| 溫度范圍 | 450 – 2000 °C（全范圍） |
| 分辨率 | 0.01 °C（0.01 °C 分辨率） |
| 精度 | ±0.5 %（450-2000 °C） |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 5 ms（非接觸） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 大氣版 | 可選（內(nèi)置窗） |
| 真空接口 | NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 壽命 | 5 年（傳感器） |
三、功能亮點(diǎn)
- 450-2000 °C 全范圍：非接觸等離子體溫度，全范圍精度 ±0.5 %
- 0.01 °C 超高分辨率：0.01 °C 分辨率，等離子體溫度微變實(shí)時(shí)捕捉
- 5 ms 高速響應(yīng)：非接觸，5 ms 高速響應(yīng)，適合快速溫度變化
- ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無(wú)泄漏
- 1.9 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動(dòng)，實(shí)驗(yàn)室即用
- 5 年壽命：Photrix 傳感器，5 年免維護(hù)
四、典型應(yīng)用系統(tǒng)
半導(dǎo)體等離子體刻蝕┌─ 等離子體腔體 ─┐│ │溫度← Photrix ← 真空饋通 NW16│ │└─ PLC/DCS ──────┘- 等離子體溫度 1000 °C，0.01 °C 分辨率，5 ms 響應(yīng)
- RS-485 實(shí)時(shí)輸出，PLC 閉環(huán)控制
五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)（等離子體驗(yàn)證）
- 等離子體：Ar/O?，1000 °C，1×10?? Pa
- Photrix：
- 溫度 1000 °C（±0.5 %）
- 分辨率 0.01 °C（0.01 °C）
- 響應(yīng)時(shí)間 5 ms（非接觸）
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品目錄
-
儀器儀表
- 溶解氧測(cè)定儀
- 透過率計(jì)
- 電源
- 恒溫器
- 蝶閥
- 熔點(diǎn)儀
- 圧力計(jì)
- pH計(jì)
- 電阻測(cè)試儀
- 密封試驗(yàn)儀
- 余氯測(cè)定儀
- 流速儀
- 抵抗計(jì)
- 絕緣電阻計(jì)
- 噪聲計(jì)
- 深度計(jì)
- 記錄儀
- 記錄器
- 溫度儀
- 氣體檢測(cè)儀
- 熱電偶
- 粉塵儀
- 磁通計(jì)
- 角度計(jì)
- 加振器
- 探傷儀
- 氧氣計(jì)
- 計(jì)量泵
- 尺子測(cè)量
- 測(cè)量?jī)x
- 密度計(jì)
- 馬弗爐
- 恒溫槽
- 壓縮機(jī)
- 離心泵
- 螺桿泵
- 葉片泵
- 柱塞泵
- 蠕動(dòng)泵
- 定量泵
- 隔膜泵
- 酸堿度計(jì)
- 濁度計(jì)
- 電導(dǎo)率儀
- 鹽分計(jì)
- 檢測(cè)儀
- 監(jiān)測(cè)儀
- 色度計(jì)
- 分光輻射計(jì)
- 差壓計(jì)
- 壓力表
- 料位計(jì)
- 電平計(jì)
- 比重計(jì)
- 流速計(jì)
- 工業(yè)內(nèi)窺鏡
- 扭矩計(jì)
- 應(yīng)力計(jì)
- 檢查器
- 檢針器
- 溫度計(jì)
- 摩擦計(jì)
- 放大鏡
- 粒度儀
- 篩分儀
- 試験機(jī)
- 測(cè)定儀
- 露點(diǎn)儀
- 電氣爐
- 轉(zhuǎn)速表
- 水分計(jì)
- 濃度計(jì)
- 流量計(jì)
- 物位計(jì)
- 測(cè)厚儀
- 硬度計(jì)
- 光纖測(cè)定器
- 水分活性測(cè)定
- 熱風(fēng)計(jì)
- 數(shù)字照度計(jì)
- 風(fēng)速計(jì)
- 實(shí)體顯微鏡
- 環(huán)境測(cè)定計(jì)
- 躁聲計(jì)
- 真空計(jì)
- 液位計(jì)
- 高斯計(jì)
- 控制閥
- 壓力計(jì)
- 噴嘴類
- 泵類
聯(lián)系我們
在線客服