產(chǎn)品資料
半導(dǎo)體加工工業(yè)真空兼容氣體檢測探測器
產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體加工工業(yè)真空兼容氣體檢測探測器
產(chǎn)品型號: Midas
產(chǎn)品特點: 半導(dǎo)體加工工業(yè)真空兼容氣體檢測探測器即插即用 · 遠(yuǎn)程診斷 · 易用性 · 半導(dǎo)體加工 · 工業(yè)制造檢測 40+ 氣體 · 真空抽取 · 0-100 %LEL · 重量 2.1 kg · 并排安裝一、產(chǎn)品定位半導(dǎo)體加工工業(yè)制造領(lǐng)域：MOCVD、刻蝕、離子注入、擴(kuò)散、溶劑清洗易用性：即插即用，遠(yuǎn)程診斷，無需開蓋校準(zhǔn)即插即用：真空抽取采樣，并排安裝，重量 2.1 kg遠(yuǎn)程診斷：Honey
半導(dǎo)體加工工業(yè)真空兼容氣體檢測探測器 的詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體加工工業(yè)真空兼容氣體檢測探測器
半導(dǎo)體加工工業(yè)真空兼容氣體檢測探測器
即插即用 · 遠(yuǎn)程診斷 · 易用性 · 半導(dǎo)體加工 · 工業(yè)制造
檢測 40+ 氣體 · 真空抽取 · 0-100 %LEL · 重量 2.1 kg · 并排安裝
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體加工工業(yè)制造領(lǐng)域：MOCVD、刻蝕、離子注入、擴(kuò)散、溶劑清洗
- 易用性：即插即用，遠(yuǎn)程診斷，無需開蓋校準(zhǔn)
- 即插即用：真空抽取采樣，并排安裝，重量 2.1 kg
- 遠(yuǎn)程診斷：Honeywell Total Connect 云端，手機(jī) APP 實時查看
二、核心技術(shù)參數(shù)（Midas 系列）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 檢測原理 | 真空抽取 + 紅外/紫外/電化學(xué)傳感器 |
| 檢測氣體 | 40+ 氣體（見下表） |
| 量程 | 0-100 %LEL / 0-1000 ppm / 0-1 %Vol（因氣體） |
| 精度 | ±1 % FS（紅外） / ±2 % FS（電化學(xué)） |
| 響應(yīng)時間 | T90 < 10 s（真空抽取） |
| 采樣方式 | 真空抽取（內(nèi)置泵） |
| 真空度 | ≤ 1×10?3 Pa（真空版） |
| 通信 | RS-485 + Modbus RTU + 云端 APP |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 148×80×135 mm，2.1 kg |
| 壽命 | 5 年（傳感器） |
三、檢測氣體列表（部分）
| 氣體 | 量程 | 原理 |
|---|---|---|
| NH? | 0-100 ppm | 電化學(xué) |
| HCl | 0-10 ppm | 電化學(xué) |
| HF | 0-10 ppm | 電化學(xué) |
| PH? | 0-1 ppm | 電化學(xué) |
| SiH? | 0-100 %LEL | 紅外 |
| CH? | 0-100 %LEL | 紅外 |
| O? | 0-25 %Vol | 電化學(xué) |
| H?O | 0-100 %RH | 電容 |
四、功能亮點
- 即插即用：真空抽取，并排安裝，重量 2.1 kg，5 分鐘完成
- 遠(yuǎn)程診斷：Honeywell Total Connect 云端，手機(jī) APP 實時查看
- 真空抽取：≤ 1×10?3 Pa，真空腔直接采樣，無需外泵
- 40+ 氣體：半導(dǎo)體工藝全覆蓋，一鍵切換氣體類型
- < 10 s 響應(yīng)：真空抽取，T90 < 10 s，適合快速泄漏
- 5 年壽命：傳感器壽命 5 年，免維護(hù)，遠(yuǎn)程校準(zhǔn)
五、典型應(yīng)用系統(tǒng)
半導(dǎo)體 MOCVD 氣體監(jiān)測┌─ MOCVD 腔體 ─┐│ │采樣← Midas ← 真空饋通 NW16│ │└─ 回大氣 ─────┘- 真空度 ≤ 1×10?3 Pa，直接采樣 NH?、HCl、PH?
- 手機(jī) APP 實時顯示濃度，超閾值短信報警
六、實測數(shù)據(jù)（半導(dǎo)體驗證）
- MOCVD 腔體，NH? 50 ppm
- Midas 真空版：
- 響應(yīng)時間 8 s（T90）
- 精度 ±1 ppm（50 ppm）
- 壽命 5 年（真空版）
七、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| Midas-VAC | 真空版（≤1×10?3 Pa） |
| Midas-AIR | 大氣版（內(nèi)置泵） |
| Midas-NW16 | NW16 真空饋通套件 |
| Midas-APP | Honeywell Total Connect APP |
八、維護(hù)與可靠性
- 傳感器：5 年壽命，免維護(hù)，遠(yuǎn)程校準(zhǔn)
- 真空饋通：每月清潔一次
- APP：年漂移 < 0.1 %，無需校準(zhǔn)
- 整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障
九、結(jié)論
Honeywell Midas 以「即插即用 + 遠(yuǎn)程診斷 + 真空抽取 + 40+ 氣體」四合一設(shè)計，讓半導(dǎo)體加工工業(yè)獲得「真空兼容、遠(yuǎn)程、易用」氣體探測，是氣體探測器的「易用標(biāo)準(zhǔn)機(jī)」
即插即用 · 遠(yuǎn)程診斷 · 易用性 · 半導(dǎo)體加工 · 工業(yè)制造
檢測 40+ 氣體 · 真空抽取 · 0-100 %LEL · 重量 2.1 kg · 并排安裝
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體加工工業(yè)制造領(lǐng)域：MOCVD、刻蝕、離子注入、擴(kuò)散、溶劑清洗
- 易用性：即插即用，遠(yuǎn)程診斷，無需開蓋校準(zhǔn)
- 即插即用：真空抽取采樣，并排安裝，重量 2.1 kg
- 遠(yuǎn)程診斷：Honeywell Total Connect 云端，手機(jī) APP 實時查看
二、核心技術(shù)參數(shù)（Midas 系列）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 檢測原理 | 真空抽取 + 紅外/紫外/電化學(xué)傳感器 |
| 檢測氣體 | 40+ 氣體（見下表） |
| 量程 | 0-100 %LEL / 0-1000 ppm / 0-1 %Vol（因氣體） |
| 精度 | ±1 % FS（紅外） / ±2 % FS（電化學(xué)） |
| 響應(yīng)時間 | T90 < 10 s（真空抽取） |
| 采樣方式 | 真空抽取（內(nèi)置泵） |
| 真空度 | ≤ 1×10?3 Pa（真空版） |
| 通信 | RS-485 + Modbus RTU + 云端 APP |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 148×80×135 mm，2.1 kg |
| 壽命 | 5 年（傳感器） |
三、檢測氣體列表（部分）
| 氣體 | 量程 | 原理 |
|---|---|---|
| NH? | 0-100 ppm | 電化學(xué) |
| HCl | 0-10 ppm | 電化學(xué) |
| HF | 0-10 ppm | 電化學(xué) |
| PH? | 0-1 ppm | 電化學(xué) |
| SiH? | 0-100 %LEL | 紅外 |
| CH? | 0-100 %LEL | 紅外 |
| O? | 0-25 %Vol | 電化學(xué) |
| H?O | 0-100 %RH | 電容 |
四、功能亮點
- 即插即用：真空抽取，并排安裝，重量 2.1 kg，5 分鐘完成
- 遠(yuǎn)程診斷：Honeywell Total Connect 云端，手機(jī) APP 實時查看
- 真空抽取：≤ 1×10?3 Pa，真空腔直接采樣，無需外泵
- 40+ 氣體：半導(dǎo)體工藝全覆蓋，一鍵切換氣體類型
- < 10 s 響應(yīng)：真空抽取，T90 < 10 s，適合快速泄漏
- 5 年壽命：傳感器壽命 5 年，免維護(hù)，遠(yuǎn)程校準(zhǔn)
五、典型應(yīng)用系統(tǒng)
半導(dǎo)體 MOCVD 氣體監(jiān)測┌─ MOCVD 腔體 ─┐│ │采樣← Midas ← 真空饋通 NW16│ │└─ 回大氣 ─────┘- 真空度 ≤ 1×10?3 Pa，直接采樣 NH?、HCl、PH?
- 手機(jī) APP 實時顯示濃度，超閾值短信報警
六、實測數(shù)據(jù)（半導(dǎo)體驗證）
- MOCVD 腔體，NH? 50 ppm
- Midas 真空版：
- 響應(yīng)時間 8 s（T90）
- 精度 ±1 ppm（50 ppm）
- 壽命 5 年（真空版）
七、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| Midas-VAC | 真空版（≤1×10?3 Pa） |
| Midas-AIR | 大氣版（內(nèi)置泵） |
| Midas-NW16 | NW16 真空饋通套件 |
| Midas-APP | Honeywell Total Connect APP |
八、維護(hù)與可靠性
- 傳感器：5 年壽命，免維護(hù)，遠(yuǎn)程校準(zhǔn)
- 真空饋通：每月清潔一次
- APP：年漂移 < 0.1 %，無需校準(zhǔn)
- 整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障
九、結(jié)論
Honeywell Midas 以「即插即用 + 遠(yuǎn)程診斷 + 真空抽取 + 40+ 氣體」四合一設(shè)計，讓半導(dǎo)體加工工業(yè)獲得「真空兼容、遠(yuǎn)程、易用」氣體探測，是氣體探測器的「易用標(biāo)準(zhǔn)機(jī)」
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