科研光譜分析90-400 nm 深紫外光源D2燈

科研光譜分析90-400 nm 深紫外光源D2燈

深紫外 UV-VIS 光譜儀標(biāo)準(zhǔn)光源 · 190-400 nm 峰值 · 高穩(wěn)定性 · 長(zhǎng)壽命
適用于半導(dǎo)體、LCD、科研光譜分析

一、產(chǎn)品定位

• D2燈（Deuterium Lamp）：190-400 nm 深紫外標(biāo)準(zhǔn)光源
• Milas 供應(yīng)：日本原廠，真空/大氣雙版本，高穩(wěn)定性
• 應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體膜厚、LCD 配向膜、UV-VIS 光譜儀、科研分析
• 替代型號(hào)：Hamamatsu L2D2、Heraeus D2plus、Ocean Insight DH-2000

二、核心技術(shù)參數(shù)（Milas D2燈）

三、功能亮點(diǎn)

1. 190-400 nm 深紫外：適合 < 5 nm 超薄膜測(cè)定，高分辨率
2. < ±0.1 % 穩(wěn)定性：基線漂移 < 0.1 mAU，無(wú)需頻繁校準(zhǔn)
3. 真空/大氣雙版本：真空度 ≤ 1×10?? Pa，潔凈室兼容
4. >2,000 h 壽命：真空版 2,000 h，大氣版 3,000 h
5. SMA905/FC 光纖：真空饋通，即插即用，無(wú)對(duì)
6. 0.2 kg 超輕：可直接貼腔體，不增加機(jī)械負(fù)載

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

半導(dǎo)體膜厚測(cè)定┌─ 真空腔體 ─┐│               │光源← Milas D2 ← 真空饋通 SMA905│               │└─ 光譜儀 ────┘

• 真空度 ≤ 1×10?? Pa，190-400 nm 照射
• 光譜儀采集反射光譜，膜厚精度 ≤ 0.05 nm

五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)（膜厚測(cè)定驗(yàn)證）

• 樣品：SiO? 5 nm 薄膜，真空 1×10?? Pa
• Milas D2 真空版：
• 穩(wěn)定性 ±0.05 %（10 min）
• 膜厚重復(fù)性 0.03 nm（10 次）
• 壽命 2,000 h（真空版）

六、選型與配件

七、維護(hù)與可靠性

• 燈壽命：真空版 2,000 h，大氣版 3,000 h
• 光纖：真空饋通，每月清潔一次
• 驅(qū)動(dòng)器：年漂移 < 0.1 %，無(wú)需校準(zhǔn)
• 整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障

八、結(jié)論