日商精密光學 AF-Micron 系列深度高度測量儀，是融合光切斷 slit 成像與 spot 光成像技術的新型高精度測量設備，搭載自動對焦（AF）跟蹤功能，為精密零部件的高度、深度、臺階檢測提供高效、精準的非接觸式測量解決方案。

設備采用 10μm 半反射鏡標準投射狹縫（可選 30μm、80μm），搭配半導體激光器與鹵素光源，Z 軸讀數精度達 0.1μm，重復精度 ±1μm 以內，可精準捕捉微小臺階與表面形貌變化。連續追蹤 AF 驅動可實現重復高精度測量，操作簡便快速，支持自動 / 手動雙模式，自動模式下可在 XY 軸移動平臺上快速完成批量檢測，手動模式可作為微米級深度高度測量儀使用。

通過實時觀察狹縫成像，可直觀識別測量畫面的高低差，輕松定位測量部位；系統通過狹縫像、斑點光像、電子基準線三重中心對齊校驗，有效避免錯誤數值輸出。光切斷仰角除標準 90° 外，還可根據用途選擇 30°、60°、120°，適配復雜工件的多角度測量需求。

設備標配 10 倍物鏡（可選 5 倍、20 倍），13 英寸彩色液晶顯示器實時成像，支持規格定制，廣泛應用于機械加工部件、模具、薄膜、基板等的表面粗糙度、高度位置、沖壓件檢測等精密加工領域，是精密制造質量管控的核心測量設備。