在半導體、熱處理等工業制程中，穩定高效的真空排氣是工藝穩定的核心保障。日本樫山工業（Kashiyama）推出的 SD 系列干式真空泵，以高耐用性、小型化、低功耗的優勢，成為工業真空場景的優選設備。

系列延續了品牌經典的制程耐性并持續優化，采用豎型螺桿結構與全新加熱系統，搭配特殊耐腐蝕材料，大幅強化設備耐用性，豐富的溫度區間可適配各類嚴苛制程。設備實現了小型化，20000L/min 級機型占地面積較前代縮減 35%，同時進一步降低電力消耗，兼顧性能與節能。

全系列覆蓋多檔排氣規格，排氣速度從 10000L/min 到 100000L/min 可選，到達壓力低至 0.3Pa，滿足從實驗室到量產線的全場景真空需求。設備符合 SEMI、CE、NRTL 等國際安全規格，設計高可靠，搭載腳輪便于移動部署，適配各類工業現場。

設備采用三相 AC200~220V 供電，支持氮氣吹掃，冷卻水量需求低，功耗控制優異，SDX 節能款適配熱處理制程，SDT/SDH 高耐用款適配嚴苛制程，可根據工藝需求靈活選型。全系列排氣性能穩定，寬壓力區間保持高效抽速，廣泛應用于半導體制造、真空熱處理、材料研發等領域，是工業真空系統的核心配套設備。