在掃描電鏡的實際觀測中，非導(dǎo)電樣品容易出現(xiàn)荷電效應(yīng)，傳統(tǒng)濺射鍍膜方式會帶來顆粒感、熱損傷與污染問題，影響高倍成像與微觀結(jié)構(gòu)解析。針對這類制樣難題，日本 Filgen 推出鋨等離子鍍膜機，通過直流等離子體技術(shù)，在負輝區(qū)實現(xiàn)分子級無顆粒鋨金屬導(dǎo)電膜沉積，為材料、高分子、生物、電子等領(lǐng)域提供穩(wěn)定的樣品前處理支撐。

Filgen 鋨等離子鍍膜機采用等離子 CVD 工作模式，在高真空反應(yīng)腔中引入鋨氣體，通過輝光放電將鋨分子等離子化，在樣品表面形成均勻致密的非晶態(tài)導(dǎo)電薄膜。整個鍍膜過程在室溫下完成，不會對樣品造成熱損傷，成膜無顆粒、附著力好，能夠真實還原樣品表面微觀形貌，適合高分辨場發(fā)射電鏡的觀測需求。鋨金屬熔點高，在電子束下穩(wěn)定性好，可減少樣品損傷與污染，提升成像質(zhì)量。

設(shè)備具備完善的安全設(shè)計，反應(yīng)腔配備互鎖系統(tǒng)，氣體未排空時艙門無法開啟，有效降低試劑暴露風(fēng)險。鋨儲瓶采用氣密結(jié)構(gòu)，集成安瓿切割器與觀察窗，可快速確認試劑余量，支持拆卸后低溫保存。設(shè)備配備鋨吸收過濾裝置，對排放氣體進行處理，實驗室使用更加安全。整機采用自動化流程，設(shè)置好膜厚參數(shù)后一鍵啟動，膜厚可控、操作簡便，可滿足日常批量制樣需求。

該系列包含 OPC60A 與 OPC80T 兩種主流型號，分別對應(yīng)純鋨鍍膜、鋨膜 / 等離子聚合膜雙功能，可適配不同樣品與工藝。設(shè)備支持超薄膜模式，可設(shè)置 0.1nm 級成膜，滿足高精度制樣要求?？蛇x配深阱電極、親水改性單元、超低電流鍍膜系統(tǒng)、混合氣體蝕刻單元等拓展功能，可實現(xiàn)高度樣品處理、氟樹脂樣品復(fù)合鍍膜、FIB 防護膜制備、TEM 載網(wǎng)親水改性等多樣化用途，廣泛服務(wù)于 SEM/TEM/AFM/SPM/FIB 等制樣場景。

從絕緣材料微觀分析、生物樣品觀測，到高分子結(jié)構(gòu)表征、電子器件檢測，F(xiàn)ilgen 鋨等離子鍍膜機以無顆粒、無熱損傷、低荷電、高穩(wěn)定的特點，成為電鏡樣品前處理的可靠選擇。依托成熟的真空控制與安全機制，設(shè)備幫助科研與工業(yè)用戶提升制樣效率與數(shù)據(jù)一致性，為微觀結(jié)構(gòu)分析提供有力保障。