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日本鏡面平板基材表面缺陷檢測技術(shù)介紹
日本鏡面平板基材表面缺陷檢測技術(shù)介紹
表面缺陷檢測設(shè)備（一般）
應(yīng)用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理，達成實時檢測鏡面平板基材表面狀態(tài)的裝置。受各地的矽晶圓廠所用。
非接觸、非破壞性的檢查，以及免維護的光學(xué)系統(tǒng)根據(jù)選配，可追加表面缺陷自動判定影像處理軟體、自動化搬運裝置、影像儲存、影像列印等功能。
非接觸、非破壞性的檢查，以及免維護的光學(xué)系統(tǒng)根據(jù)選配，可追加表面缺陷自動判定影像處理軟體、自動化搬運裝置、影像儲存、影像列印等功能。
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即時顯示所有表面狀態(tài)。 -
光學(xué)系統(tǒng)對應(yīng)等級１ -
光學(xué)系統(tǒng)無須維護。 -
根據(jù)檢測內(nèi)容，可修正檢測靈敏度。
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| 檢測尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
| 檢測內(nèi)容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
| 檢測倍率 | 1x / 3x 模式可切換（標準設(shè)備） |
| 檢測靈敏度 | 檢測靈敏度可連續(xù)調(diào)整 |
| 使用光源 | 550nm （固定照度之穩(wěn)定光源） |
| 鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
| 平臺 | 手動平臺（標準設(shè)備） |
用途
| 鏡面晶圓的表面檢測 |
| 滑線檢測 |
| 玻璃基板檢測 |
| 其他鏡面基板檢測 |
選配
| 電動馬達檢測平移臺 |
| 自動判定缺陷影像處理裝置 |
| 影像列印機 |
| 搬運裝置 |
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※ 可以隨時在敝公司內(nèi)展示。
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※ 可將樣品寄送過來，之后我們再將影像結(jié)果回寄。
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