光激發(fā)解吸分析儀特點

光激發(fā)解吸分析儀（PSD）是用真空紫外線（120～400nm）照射樣品，用質譜儀觀察從最表面解吸的分子的分析儀。

通過掃描照射波長，可以知道每個波長的解吸成分的差異，可用于分析樣品表面的污染物、樣品最外表面的結構以及真空紫外線的影響樣品上的射線。

此外，通過使用熱支持功能，可以在特定溫度下觀察光激發(fā)解吸現(xiàn)象，這對于設計用于半導體、顯示器、太陽能電池等的熱和光學過程非常有用。

光學解吸分析儀的配置

光解吸分析儀由產生真空紫外線的真空紫外光源單元和檢測從樣品中解吸的成分的測量單元組成。

光解吸分析儀配置圖

真空紫外光源

當Nd 3+ : YAG激光被引入充滿氬氣的光源室時，氬氣被激發(fā)并產生等離子體。這種激光激發(fā)的等離子體發(fā)射從真空紫外到可見光區(qū)域的寬波長光。通過用由衍射光柵分離的單色光照射樣品，觀察每個照射波長的解吸。可以使用的波長由安裝的衍射光柵決定，但 120 至 400 nm 是該設備的標準。

負載鎖定室

負載鎖定室對于高測量效率（高通量）和高靈敏度是不可少的。我們的負載鎖定室和樣品轉移機制只允許將樣品快速引入超高真空分析室。
如果沒有負載鎖定室，則每次更換樣品時都需要將分析室向大氣開放，但一旦向大氣開放，就會在分析中吸附大量大氣成分（尤其是水）室，它需要很長時間才能*耗盡。我需要。

分析室

通過提高溫度來促進真空紫外線照射的光激發(fā)解吸。通過應用我們的 TDS 技術，可以在將樣品保持在恒定溫度后進行真空紫外線照射。

分析室與溫升解吸分析儀的結構相同。即使在炎熱地區(qū)，樣品也可以在背景水平增加最小的情況下加熱。真空紫外光源的分光室和測量單元的分析室通過帶MgF 2窗口的法蘭隔開連接。